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国家知识产权局信息数据显现，通快激光体系半导体制作股份公司请求一项名为“用于EUV光体系的观测设备以及对应的EUV光体系”的专利，公开号CN121312254A，请求日期为2024年4月。
专利摘要显现，本发明触及用于EUV光体系（1）的观测设备（3），该观测设备用于观测用于EUV光生成的资料滴（2）。观测设备（3）包含：光学器材（6），用于将丈量激光束（4）引导至资料滴（2）和沿预给定的光束途径引导对应的反射的光（7）；以及传感器体系（9），定位在光束途径的端部处，用于检测反射的光（7）。为了阻挠在光学器材（6）处产生的对丈量激光束（4）的搅扰反射（11，14，17，21），在光学器材（6）与传感器体系（9）之间至少在光束途径的中心区域中定位光阻挠元件（12，20，22），然后保证反射的光（7）中的至少一些能够抵达传感器体系（9），而不论光阻挠元件（12，20，22）怎么。本发明还触及包含这样的观测设备（3）的EUV光体系（1）。
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